Fizeau是*靈活的干涉儀，可以使用非接觸配置來(lái)測(cè)量平坦和球形表面。它的參考光路和測(cè)量光路是相同的，因此這是一個(gè)緊湊的抗振系統(tǒng)。Fizeau干涉儀在某種程度上類(lèi)似于Fabry-Perot干涉儀，因?yàn)閮烧叨加蓛蓚€(gè)反射面組成。但是，在菲索（Fizeau）干涉儀中，**表面通常是全反射的。傾斜的分束器捕獲參考光束和測(cè)量光束。
Holmarc Fizeau干涉儀具有開(kāi)放式和垂直式配置。適用于平面和球形表面的常規(guī)測(cè)量。DPSS激光用作光源。垂直方向的光學(xué)布局使測(cè)試組件的放置變得容易。條紋由CCD相機(jī)捕獲并由計(jì)算機(jī)分析。該設(shè)備可用于制造中光學(xué)器件的質(zhì)量控制以及實(shí)驗(yàn)室的常規(guī)檢查。
包含的組件
DPSS激光源532nm（5 mW），
空間過(guò)濾器組件
分束器
帶支架的準(zhǔn)直透鏡
帶底座的參考平面
測(cè)試平板安裝
帶有CCD等的變焦鏡頭
圖。Fizeo干涉儀示意圖